解决方案|气相色谱法测定四甲基二乙烯基二硅氮烷和六甲基二硅氮烷纯度

发布时间：2023-09-28

硅氮烷是具有Si-N键的胺的硅类似物，是一种具有独特性能的有机化合物，在新材料领域有着广泛的应用，尤其是在半导体工业中的应用。但是，在硅氮烷类化合物合成过程中，反应条件往往十分苛刻，若生产过程中温度、压力控制不当，就可能导致产品中存在较高的杂质。因此，对硅氮烷类化合物纯度的准确分析，是对生产过程的有效控制，也是产品质量控制的重要内容之一。
精确确定材料中的杂质含量，测定硅氮烷类化合物的纯度是至关重要的，硅氮烷类纯度分析方法有多种，如色谱法、热分解法、热重分析法等，但色谱法是应用较为广泛的一种方法。采用气相色谱法测定硅氮烷类纯度，分析过程简单，分析速度快。本文根据T/FSI 012-2017的方法，经过检测条件的优化，建立了GC-4100气相色谱仪分别检测四甲基二乙烯基二硅氮烷和六甲基二硅氮烷的纯度。该方法重复性好，准确度高，可供相关人员参考。

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